內(nèi)容提要超精密定位工作臺(tái)技術(shù)是集機(jī)械學(xué)、電子學(xué)、光學(xué)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)與一體的綜合性技術(shù)，為IC制造技術(shù)、精密加工技術(shù)、機(jī)密測(cè)量技術(shù)等提供精密定位裝置。本書系統(tǒng)闡述了超精密氣浮定位工作臺(tái)中的氣浮支承技術(shù)、系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)、超精密定位運(yùn)動(dòng)及其控制等基本理論與方法。本書的主要內(nèi)容包括：超精密氣浮支承技術(shù)和精密定位工作臺(tái)電磁直接驅(qū)動(dòng)的基本理論和技術(shù)；超精密氣浮支承的建模、有限元分析方法及其數(shù)值計(jì)算的理論與方法；超精密氣浮定位工作臺(tái)的動(dòng)力學(xué)建模以及動(dòng)態(tài)特性分析；超精密定位工作臺(tái)的定位運(yùn)動(dòng)分析及其控制方法研究。本書可作為數(shù)字制造設(shè)備、精密加工設(shè)備、精密測(cè)量?jī)x器、生物醫(yī)藥裝備等行業(yè)科研技術(shù)人員的參考書，也可作為高等院校相關(guān)專業(yè)的研究生教材。