詳細(xì)介紹：與20 m柵距RESR圓光柵兼容 光學(xué)濾波系統(tǒng)提供優(yōu)異的抗污跡能力 小巧堅固的外殼 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字和模擬信號輸出 內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED指示燈 分辨率從5 m，1 m，0.5 m，0.1 m，50nm，20nm到10nm 參考零位或單限位開關(guān)傳感器 高柔性雙屏蔽8芯電纜 三態(tài)低電平報警信號或全報警輸出 l14.8mm（或10.5mm） 36.0mmX13.5mm(H L W) 可選高真空兼容型