基礎(chǔ)技術(shù)參數(shù)：型 號： FUNCTION 564n 行 程： X軸 500 mmY軸 600 mmZ軸 400 mm 結(jié)構(gòu)型式：活動橋式 傳動方式：直流伺服系統(tǒng) + 預(yù)載荷高精度空氣軸承 長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5 m 機(jī) 臺：高精度（00級）花崗巖平臺 使用環(huán)境：溫度(20 2)℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h 空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa 空氣流量：120 L/min 140 L/min 整機(jī)尺寸(LWH)：1.2m X 1.4 m X 2.3 m 機(jī)臺承重：500 kg，整機(jī)重量：850 Kg 空間測量精度：（2.80+L/300） m