技術(shù)參數(shù)(1)類型：CCI干涉（相干相關(guān)干涉）(2)分辨率：0.1A(3)測量點數(shù)：1,048,576(1024x1024點陣)更詳細(xì)參數(shù)和有關(guān)應(yīng)用問題請垂詢辦事處產(chǎn)品負(fù)責(zé)人。主要特點＆#8226;專利的相干相關(guān)算法＆#8226;0.01nm分辨率＆#8226;10-20秒測量時間Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（專利技術(shù)的相干相關(guān)算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸，并計算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲器件，半導(dǎo)體器件，光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。＆#8226;RMS重復(fù)性：0.03A