MASS-FLO 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器1479A/179A質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從10sccm 20slm，各種模擬和數(shù)字通訊口可選。M330B低壓質(zhì)量流量控制器，其滿量程范圍從5 100sccmM330H高溫型(150℃）質(zhì)量流量控制器，其滿量程范圍從10sccm 40slm MASS-FLO 系列橡膠密封質(zhì)量流量控制器1179A/2179A質(zhì)量流量控制器/帶截至閥質(zhì)量流量控制器，其滿量程范圍從10sccm 20slm，模擬和數(shù)字通訊口可選。M100B/M10MB質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從10sccm 50slm1559A/558A大流量質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從20 200slm1579A/579A大流量質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從50 300slm 以壓力為基礎(chǔ)的流量控制器Tru-Flo 質(zhì)量流量檢測器是一個緊湊型的診斷儀器。它在已知的腔體體積和溫度的條件下，測量上升的壓力來確定流量。DELTA II流量比例控制器隨著DELTA流量比例控制器的使用，優(yōu)化工藝結(jié)果將變得容易。它可將混合的工藝氣體按比例分為兩路以提高均勻性等工藝參數(shù)。比例可從1:1至1:20。