F.S.流量 N2換算10SCCM-20SLM 閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)電磁常閉 控制范圍2%-100%F.S 應(yīng)答性應(yīng)答速度 1秒精 度 1.0%F.S.以?xún)?nèi)線 性 0.5%F.S.以?xún)?nèi)再現(xiàn)性 0.2%F.S.以?xún)?nèi)動(dòng)作差壓49KPa-294KPa(F.S. 5SLM)98KPa-294KPa(5SLM F.S. 20SLM)耐 壓0.98MPa泄露率1 10 8Pam3/second或更小操作溫度0～50 C接觸物質(zhì)的材料本體:SUS316L隔膜：SUS316底座：.PTFE密封墊：氯丁(二烯)橡膠或NBR連 接標(biāo)準(zhǔn)：1/4SWL可選：1/8SWL，1/4VCR，Rc1/4電氣連接9針插座控制信號(hào)0-5VDC輸出信號(hào)0-5VDC電 源+15VDC( 5%)100mA 15VDC( 5%)200mA 流量范圍：10SCCM～20SLM，精度 1%F.S.，應(yīng)答速度 1秒。特點(diǎn)：精度高、應(yīng)答快、無(wú)縫溶接構(gòu)造、低滲漏。適用范圍：半導(dǎo)體等行業(yè)氣體控制。