四氟化碳 狀態(tài) 氣體（元） 用途級別 工業(yè)級 含量 99.999（％） CAS編號 75-73-0 品牌 中銳 四氟化碳(CF4) 在常溫下，四氟化碳是無色、無臭、不燃的可壓縮性氣體，揮發(fā)性較高，是最穩(wěn)定的有機化合物之一，在900℃時，不與銅、鎳、鎢、鉬反應，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015％（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時，會分解產生有毒氟化物。 安全：四氟化碳是一種不燃燒的無色、無味的壓縮氣體，充裝于鋼瓶中，壓力2000psig。當其含量增加至氧氣含量低于19.5%導致窒息。接觸液體會引起凍傷。避免呼吸氣體。在救護工作中需配備自吸式防毒面具。 英文名稱：CarbonTetrafluorideorTetrafluoromethane 　　分子式：CF4。相對分子量：88.00 　　物理化學性質：在常溫下，四氟化碳是無色、無臭、不燃的可壓縮性氣體，沸點：-128℃，熔點：-183.6℃。液體密度1.613g/cm3(-130℃)，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力：3.74Mpa，介電常數(shù)：1.0006(25℃,0.5Mpa)。揮發(fā)性較高，是最穩(wěn)定的有機化合物之一，在900℃時，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產生有毒氟化物。 用途：四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。 　　包裝運輸：四氟化碳對金屬、合金不腐蝕，可用無縫鋼瓶和鋁合金容器裝運，充瓶壓力通常低于12.5Mpa，按壓縮氣體運輸，鋼瓶每五年檢驗一次，國外規(guī)定可用汽車、火車、輪船和飛機運輸，國內目前無規(guī)定。