高真空技術中使用的擴散泵油，要求耐熱氧化性，冷卻溫度下蒸氣壓低，且其蒸氣壓隨溫度變化大，沸騰溫度不能過高。早期曾使用水銀，目前主要使用礦油類、酯類、聚苯醚及硅油等。其中以硅油的性能最好，它具有熱氧化穩(wěn)定性高、粘溫系數小、沸點范圍窄、蒸氣壓曲線陡（溫度變化一點，蒸氣壓變化很大），常溫蒸氣壓低，凝固點低，加之化學惰性，無毒、無味、無腐蝕。因而它可在250℃下長時間使用，在真空下允許在更高溫度下使用。當前各國使用的擴散泵硅油主要仍是DOWCORNING公司開發(fā)的下列兩種DC-704和DC-705。使用上述硅油可獲得1.333×10-7~1.333×10-11kPa（無阱條件下）及1.333×10-10~1.333×10-12kPa。DOWCORNING擴散泵油是為高真空和在生產作業(yè)中快速對大容積氣體抽真空而設計的，國內95%以上的進口擴散泵指定用DOWCORNING的擴散泵硅油。