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NANOMAP 500LS探針式三維形貌儀
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單 價： 面議 
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發(fā)貨期限： 自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
所在地： 北京
有效期至： 長期有效
更新日期： 2019-04-26 10:33
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詢價
公司基本資料信息
 
 
 
 【NANOMAP 500LS探針式三維形貌儀】詳細(xì)說明
?簡介：
美國AEP Technology公司主要從事半導(dǎo)體檢測設(shè)備, MEMS檢測設(shè)備, 光學(xué)檢測設(shè)備的生產(chǎn)制造，是表面測量解決方案行業(yè)的領(lǐng)先供應(yīng)者,專門致力于材料表面形貌測量與檢測。
NANOMAP 500LS三維形貌儀，既有高精密度和準(zhǔn)確度的局部（Local）SPM掃描，又具備大尺度和高測量速度；既可用來獲得樣品表面垂直分辨率高達(dá)0.05nm的三維形態(tài)和形貌，又可以定量地測量表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸，諸如晶粒、膜厚、孔洞深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等，并計算關(guān)鍵部位的面積和體積等參數(shù)。樣件無須專門處理，在高速掃描狀態(tài)下測量輪廓范圍可以從1nm 到10mm。該儀器的應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋了薄膜/涂層、光學(xué)，工業(yè)軋鋼和鋁、紙、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介質(zhì)和半導(dǎo)體等幾乎所有的材料領(lǐng)域。
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特點：
1.???? 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
2.???? 在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察。
3.???? 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（最大至500μm）及亞納米級垂直分辨率（最?。?１nm ）
4.???? 專業(yè)的SPIP分析軟件
5.???? 軟件設(shè)置恒定微力接觸。
6.???? 簡單的2步關(guān)鍵操作，友好的軟件操作界面。
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產(chǎn)品參數(shù)：
1.???? 縱向分辨率：0.1nm
2.???? 重復(fù)精度：0.54nm（1σ@1000nm ）
3.???? 接觸力 ：0.01mg ~ 100mg
4.???? 縱向量程：500um or 1000um
5.???? 探針掃描范圍：10um ~ 500um
6.???? 樣品臺掃面范圍：500um~100mm
7.???? 采樣速率：100Hz
8.???? 彩色CCD
9.???? 視場分辨率：512X512 像素
10.? 視場放大： 4 級調(diào)節(jié) 480x480um 到 1.5X1.5mm
11.? 自動平臺：150mm X 150mm 運動范圍
12.? 樣品臺：150mm 直徑 ，200mm可選
13.? 探針： 標(biāo)注：2um 曲率半徑，100nm接觸面積； 0.05~25um曲率可選
14.? 標(biāo)準(zhǔn)臺階高度樣品，美國NIST標(biāo)定： 500nm ；100um 兩塊
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