東安開發(fā)有限公司的專利生產(chǎn)線能生產(chǎn)出具有最優(yōu)良的機械強度和親水性能的PVA海綿。ProCleanTMPVA清潔材料的工作原理：在清潔過程中改變PVA（聚乙烯醇）的分子結構，使基片，PVA，水及清潔介質在一定的時間內達到最佳的反應狀態(tài)，從而保證達到嚴格的清潔效果。PVA是一種性能極佳的化學清潔劑的反應介質，正是它給待清潔的基片提供了最強有力的清潔作用，而進行產(chǎn)品表面的擦洗只是輔助PVA對產(chǎn)品進行清潔。在許多先進的半導體元件制造中，化學機械拋光（CMP）是非常很需要的制造技術?；瘜W機械拋光在特定的制造步驟間，讓硅晶圓表面達到全面的平面化，使更多層電路可以垂直地在元件上制造。PVA海綿具有極佳的親水性能和較好的柔韌性，不易劃傷硅片，且去除顆粒效果好。PVA海綿在半導體制造業(yè)的CMP后清洗中有著重要的應用。