接觸晶圓的吸筆盤面采用耐溫等級更高、尺寸更穩(wěn)定、密封性更好的PI。

?? PI 真空吸筆先比常用的 ESD PEEK吸筆頭，可以使用在更高的工作穩(wěn)定環(huán)境下，主要的特性優(yōu)點：

1、在高達(dá) 300℃ 時仍具有優(yōu)異的長期強(qiáng)度和剛度

2、出色的耐磨損性

3、從低溫到300℃ 都具有卓越的韌度

4、耐強(qiáng)酸和大部分有機(jī)物

5、固有的阻燃性

6、低的線性熱膨脹系數(shù)

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