SEA5100采用Si(Li)半導(dǎo)體檢測(cè)器，使之測(cè)量分辨率大大提高，彌補(bǔ)了用比例計(jì)數(shù)管檢測(cè)時(shí)有些元素難以區(qū)分的不足，配備有小型準(zhǔn)直器,不僅可以進(jìn)行元素分析，也可測(cè)量鍍層厚度,與薄膜FP法配合使用時(shí),可以不使用標(biāo)準(zhǔn)樣品，就可以進(jìn)行元素分析及鍍層測(cè)量。標(biāo)準(zhǔn)配備有Windows2000中文操作界面，采用檢量線法和FP法，測(cè)量數(shù)據(jù)與Word和Excel鏈接，自動(dòng)生成報(bào)告和數(shù)據(jù)處理，2個(gè)準(zhǔn)直器可自動(dòng)切換，工作臺(tái)3維電動(dòng)，可編程進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量利用微小的X射線束流來進(jìn)行微小的異物分析雖然從微小的異物得到的信號(hào)量不隨照射異物的X射線束流大小而改變，但是從底材得到信號(hào)隨著束流的減小而減小，相對(duì)來說，從異物得到的信號(hào)跟底材的比增強(qiáng)。于是，微小的X射線束流在進(jìn)行微小的異物和樣品時(shí)，發(fā)揮著重要的作用。方便簡(jiǎn)單的多點(diǎn)分析和成像利用多彩的掃描方法，自動(dòng)的測(cè)量樣品的表面，簡(jiǎn)單明了的表示出2維或者3維的元素分布，膜厚組成分布等的成像。鮮明的樣品畫像和定性分析(對(duì)比表示)通過光亮的照明和倍率切換，可以得到擴(kuò)大90倍的畫像，可以清楚的觀察到微小的部分，通過鼠標(biāo)和操縱桿，可以自由自在的移動(dòng)樣品，利用標(biāo)有準(zhǔn)直器尺寸的十字線，來不斷的確認(rèn)和調(diào)整需要分析部分的位置。通過電鍍部分和材質(zhì)的能諳對(duì)比，確認(rèn)曲線重合部分的元素的同時(shí)，正確的設(shè)定測(cè)量條件。自動(dòng)完成分析報(bào)告分析測(cè)量結(jié)束后，點(diǎn)擊輸出報(bào)告的按鍵，便自動(dòng)的啟動(dòng)報(bào)告編輯軟件。自動(dòng)的表示出測(cè)量條件，樣品圖像，能譜，X射線強(qiáng)度，分析數(shù)據(jù)等。以此為基礎(chǔ)進(jìn)行編輯，可以簡(jiǎn)單的完成數(shù)據(jù)詳細(xì)、具有說服力的分析報(bào)告。自動(dòng)完成分析報(bào)告如果以A來表示含有異物分的能譜、以B來表示正常部分的能譜、那么A-B表示的差就是能譜差異。中心線在邊界的正方向表示出來的曲線是異物的成分，在負(fù)方向表示出來的曲線是素材的成分。利用這個(gè)能譜的差異，可以簡(jiǎn)單的同定出異物。產(chǎn)品規(guī)格可測(cè)元素：Na-U定性功能：KLM標(biāo)示、ROL設(shè)定檢測(cè)器：Si(Li)半導(dǎo)體檢測(cè)器元素分析：自動(dòng)辨別測(cè)量準(zhǔn)直器：2個(gè)（自動(dòng)設(shè)定）應(yīng)用功能：用戶自主設(shè)定濾波器：一次濾波器（自動(dòng)設(shè)定）自動(dòng)測(cè)量：三維電動(dòng)控制樣品觀察：CCD攝像機(jī)數(shù)據(jù)處理：MS-EXCEL搭載測(cè)定軟件：薄膜FP法、檢量線法報(bào)告生成：MS-WORD搭載