便攜式四探針測(cè)試儀(電阻率:0.001~199.99 .cm,方塊電阻:0.01~1999.99 /□,可擴(kuò)展,主機(jī),F(xiàn)T201探頭)本儀器廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能單晶(多晶)生產(chǎn)廠家為硅材料的分選測(cè)試,半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專用于測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測(cè)試臺(tái)使用。 RTS2測(cè)量范圍 電阻率:0.01~1999.9 .cm; 方塊電阻:0.1~19999 /□; RTS2A測(cè)量范圍 電阻率:0.001~199.99 .cm; 方塊電阻:0.01~1999.9 /□;RTS2恒流源 電流量程分為100 A、1mA兩檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)RTS2A恒流源 電流量程分為1mA、10mA兩檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10 V; 輸入阻抗: 1000M ; 精度: 0.1%; 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示;四探針探頭基本指標(biāo) 間距:1 0.01mm; 針間絕緣電阻: 1000M ;
機(jī)械游移率: 0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16牛頓(總力);四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見(jiàn)探頭附帶的合格證)模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差(按JJG508-87進(jìn)行) 1 、10 、100 小于等于0.3% 1字整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180 .cm測(cè)試) 5%整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 5%外型尺寸 125mm(寬)*145mm(高)*245mm(深)標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度:23 2℃; 相對(duì)濕度: 65%; 無(wú)高頻干擾; 無(wú)強(qiáng)光直射;