本儀器由一測量頭和一轉(zhuǎn)向棱鏡組成，用于圓柱形工件的非接觸測量三維表面輪廓和微觀結(jié)構(gòu)測量，適合在研究，開發(fā)和生產(chǎn)中使用。測量頭設(shè)計簡單精巧，可以提供最佳的長向和橫向分辨率。它相對免維護和方便自動測量的功能使其適合在生產(chǎn)過程使用。適于在很短時間間隔內(nèi)高精度和定量測量表面粗糙度特征、氣孔、劃傷、涂層缺陷等，即可在孔內(nèi)部，也可在小的圓柱工件外表面進行。有自動瞄準功能的測量頭安裝在一固定位置，而工件或偏光鏡移動至與光學(xué)軸共線。測量區(qū)的長度決定了工件或偏光鏡的驅(qū)動長度。這種運動是通過用一個單獨的提升臺實現(xiàn)的。所有部件包括測量頭，提升臺和數(shù)據(jù)采集都是由電腦控制的，可以自動進行重復(fù)測量。測量數(shù)據(jù)根據(jù)工件直徑修正后可以以笛卡兒和極坐標顯示，并以用戶選定的程序評估。主要用途：◆ 小的圓拄和襯套工件內(nèi)外表面三維輪廓測量◆ 涂層質(zhì)量控制◆ 探測識別孔的外表面主要特點：◆ 非接觸高精度測量◆ 在生產(chǎn)現(xiàn)場和線上使用◆ 相對免維護◆ 適合產(chǎn)品研究開發(fā)的理想儀器◆ 垂向（對被測物而言是徑向）分辨率可達1nm ◆ 橫向（對被測物而言是軸向）分辨率可達10 m◆ 結(jié)構(gòu)緊湊、耐用主要優(yōu)點◆ 快速，非接觸精密測量小孔和圓柱形工件的微觀結(jié)構(gòu)，粗糙度，加工標記，缺陷，劃傷和圓柱形工件的外表面三維特征數(shù)據(jù)◆ 笛卡兒坐標或者極坐標◆ 測量和評估物體特定表面特征，包括涂層和磨損技術(shù)數(shù)據(jù)：測量孔直徑mm5-50垂向驅(qū)動長度沿工件軸線可按用戶要求定制測量范圍祄約50分辨率祄最大1Y向分辨率祄約1尺寸mm約320x320x380重量kg約5測量時間s1-20