機構(gòu)方式：多孔質(zhì)靜壓空氣軸（高精度的保證）彩色大型液晶顯示畫面旋轉(zhuǎn)一周最大采集點數(shù)：8192點/轉(zhuǎn)（高精度的保證）轉(zhuǎn)速：1~10rpm 旋轉(zhuǎn)工作臺重復精度：（0.04+0.0006H）um H為測量高度mm工作臺有效直徑： 155mm 調(diào)心范圍：+/-2mm，調(diào)水平范圍：+/-2度最大測量直徑/承載重量： 450mm/20kg最大工件直徑： 470mm Z軸（垂直軸）垂直移動范圍：300mm最大檢測高度：外徑450mm 內(nèi)徑225mm 檢測器（測頭及測針）測力/可測量范圍：100mN以內(nèi)可變 /1800um記錄的放大倍率：200X 2000X 20000X