EPS電子衛(wèi)生級(jí)在線熱式氣體流量計(jì) 大規(guī)模集成電路是在超凈環(huán)境下生產(chǎn)的。DY-EP-03是針對(duì)這種行業(yè)EPS標(biāo)準(zhǔn)要求而設(shè)計(jì)的專用儀表，用于高純O2、H2、N2、AR2等氣體的計(jì)量。特點(diǎn)： 極寬的量程比，量程比大于100:1 精確測(cè)量氣體流量 管道全部采用304、316L等高級(jí)電子拋光管，內(nèi)外表面光亮如鏡，保證吹掃后不留有害氣體分子 儀表出廠時(shí)采用嚴(yán)格的衛(wèi)生處理和包裝，即用高純氮吹掃半個(gè)小時(shí)后再充高純氮密封 采用全焊接結(jié)構(gòu)，保證在高壓下不泄露