日本小島KOFLOC氣體質(zhì)量流量控制器：氣體流量控制器因有控制器精度高，重復(fù)性好，反應(yīng)速度快。它適合半導(dǎo)體，CVD，擴(kuò)散，真空鍍膜，色譜、光纖熔煉，分析儀器，燃料電池，液晶屏，有機(jī)EL,生物工程，等離子蝕刻，環(huán)境測試，燃燒氣體控制，試驗設(shè)備，焊接，微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)等各個環(huán)節(jié)、各個制造過程中的流量控制。他所用的傳感器是熱式流量傳感器，熱式氣體質(zhì)量流量控制器是利用傳熱原理，即流動中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關(guān)系來測量流量的儀表。 工作原理：流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補(bǔ)償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓/電流進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使用之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量?？刂破鬏敵龅牧髁克z測電壓/電流與流過通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電為＋5V或20MA。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）％F.S(程比為50:1)，流量分辨率是0.1％F.S。 品牌：日本KOFLOC(創(chuàng)立于1949年),氣體質(zhì)量流量控制器型號：3660系列、8500系列、HFC-303系列、3810DS系列類型：MFC氣體質(zhì)量流量控制器控制范圍：0.02ML 1000L/MIN精度等級：0.2%FS 1.5%FS響應(yīng)速度：0.5-1秒適用介質(zhì)：所有氣體（含腐蝕和有毒氣體）模擬信號：0-5V、4-20MA（可選）氣路連接：1/2;1/4;1/8;3/8卡套、RC1/2;1/4、1/4;3/8VCR工作壓差：2KPA 300KPA（同行業(yè)中可做到的最小壓差）氣路材質(zhì)：SUS316通信接口：RS-485、RS-232產(chǎn)品氣密：1 10-11Pa m3/s或1 10-8Pa m3/s耐壓：1.0Mpa（常壓）、3.4-6.8MPa(高壓大流量)電壓：24V、 15V 特點：1：另外配有LED數(shù)字顯示，產(chǎn)品面板上有可調(diào)節(jié)各種功能的按鈕，極其容易操作(另有分體式可選擇，顯示操作部分和控制器部分可分離)2：氣體質(zhì)量流量控制器也可配置手動旋鈕式調(diào)節(jié)針閥，從而來時時調(diào)節(jié)流量大?。?810DS系列 低價格）3：氣體質(zhì)量流量控制器采用直接質(zhì)量流量測量，因此實現(xiàn)了不受溫度、壓力變動影響的精確測量4：氣體質(zhì)量流量控制器配有RS-485/232接口，能于其他外部設(shè)備實現(xiàn)通訊5：氣體質(zhì)量流量控制器裝備自動調(diào)零功能，內(nèi)裝微處理器，達(dá)到高功能化6：高分辨能力(14位以上)，通過采用AD、DA，能夠達(dá)到高精度應(yīng)對7：氣體質(zhì)量流量控制器能夠設(shè)定裝置編號；通過CF值應(yīng)對氣體種類 日本小島KOFLOC還有《浮子流量計/控制器》、《比例電磁閥》、《精密針閥》等歡迎來電咨詢黃工021-51863181（24小時可撥打）huangyong0519@126.com （氣體混合用） （大流量用）