美國進口MKS質量流量控制，流量計1，2179是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，它帶有一個關閉閥，可在多種應用場合測量和控制其體的流量。2，配上合適的壓力傳感器，他還可以用作壓力控制器。3，常閉的氣密關閉閥門正向關閉時的泄漏量僅為4*10-9scc/sec(He).具有數(shù)字和模擬兩種模式。4,精度為全量程的1%和讀數(shù)的1%。5，具有很小的功耗：在常規(guī)直流+-15V供電工作時，但愿電流僅有100mA(在最初開機階段為200mA)