日本新宇宙COSMOSXP-703D（自動吸引式）半導體特氣檢漏儀簡介:--最適合于檢測半導體特氣的微量泄漏--采用聲光報警日本新宇宙COSMOSXP-703D（自動吸引式）半導體特氣檢漏儀技術(shù)參數(shù):檢測對象氣體半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）檢測原理熱線型半導體式采樣方式自動吸引式可檢測濃度（單位：ppm）砷烷、磷烷、乙硼烷、硅烷、氫氣AsH3、PH3、B2H6、SiH4、H20.2、0.3、0.1、0.5、1.0檢測表示蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍應(yīng)答速度10秒以內(nèi)