XP-703D(自動(dòng)吸引式)半導(dǎo)體特氣檢漏儀產(chǎn)品特性:1、最適合于檢測(cè)半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測(cè);2、采用聲光報(bào)警的形式提示氣體泄漏;技術(shù)數(shù)據(jù):型號(hào):XP-703D檢測(cè)原理:熱線型半導(dǎo)體式檢測(cè)氣體半導(dǎo)體材料氣體:(砷化三氫、硅烷、磷化氫、乙硼烷) 氣體名稱(chēng) 砷化三氫磷化氫 乙硼烷 硅烷 氫氣 分子式 ASH3 PH3 B2H6 SiH4 H2檢測(cè)的泄漏量pa.m3/s 10 10-7 1.5 10-7 0.5 10-7 2.5 10-7 5 10-7 能檢測(cè)的濃度ppm 0.2 0.3 0.10.5 1.0 應(yīng)答時(shí)間:10秒檢測(cè)表示:蜂鳴器發(fā)出斷斷續(xù)續(xù)聲音且報(bào)警燈閃爍電源:5號(hào)錳干電池4個(gè)電池使用時(shí)間:堿性干電池約9小時(shí),錳干電池約3小時(shí)使用溫度范圍:0~40℃尺寸/重量:W68 H155 D32mm,約400克附件:皮革外套、排泄過(guò)濾器、過(guò)濾器用濾布、檢點(diǎn)氣體、標(biāo)準(zhǔn)配件、5號(hào)錳干電池4個(gè)選配:電池充電器,耳機(jī)