米銥Micro-Epsilon激光三角反射系列精密位移傳感器,是利用了激光三角反射原理:由傳感器探頭發(fā)射出的激光,通過特殊的透鏡被匯聚成一個直徑極小的光束,此光束被測量表面漫反射到一個分辨率極高的CCD探測器上,通過CCD所感應到光束位置的不同,可精確測量被測物體位置的變化?! ∶足濵icro-Epsilon三角反射系列激光位移傳感器的信號處理,采用了全數字技術的DSP信號處理器,使其具有高頻響高精度的特性。 傳感器 測量系統 optoNCDT1401/1700光電集成一體化CCD數字精密位移傳感器,無外接控制器。optoNCDT1607/1627高頻響精密位移傳感器,采用PSD模擬技術。 optoNCDT1800/2200超高精度高頻響智能位移測量系統,采用高分辨率CCD及DSP全數字技術。